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MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用，大大降低了硅晶圆制造的成本。这些气体传感器装置适用于一氧化碳(CO)和各种挥发性有机化合物，如：如乙醇、和甲苯的测量。出于健康和安全考虑，这些传感器的应用主要包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统。MOX气体传感器采用MEMS技术，大大降低了制造成本。但是这些传感器也经过测试，这与典型半导体器件的制造和测试相比是一组特的挑战。
